序号

名称

技术参数和规格型号

数量

单位

单价

合计价

列入优先采购和强制采购品目清单情况（优先采购或强制采购）

备注

1

▲扫描电子显微镜（场发射）

1.电子光学系统

1.1二次电子分辨率：≤1.0nm@15kV，≤1.8nm@1kV（非样品台减速模式下）；

1.2放大倍率：12-1,000,000倍（底片放大倍率）,根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准；

*1.3电子束加速电压：0.02kV~30 kV或者着陆能量范围（Electron beam landing energy range）：20eV~30keV（非样品台减速模式)；

1.4电子枪：肖特基场发射电子枪；

1.5电子束流：最大束流不小于20nA；

1.6束流稳定性：优于0.2%/h，抗噪声性能优于1%/h；

1.7镜筒内具有静电透镜设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像；

1.8 35º最佳出射角时，能谱仪分析工作距离可近到9mm以下。

2.样品室及样品台

*2.1样品室：样品室内部尺寸不小于360 mm (宽) × 360 mm (深) × 270 mm (高)；

*2.2配置五轴优中心马达驱动样品台，最大移动范围指标：X≥125mm，Y≥125mm，Z≥50mm，双向倾斜，-10°-90°（倾斜），360°（旋转）；

2.3系统配有两套样品交换系统，通过样品交换仓放样和大舱门打开直接放样。其中，样品交换仓直径为80mm，通过样品交换仓可放置样品最大尺寸直径为80mm。大舱门打开可放置样品最大尺寸直径达200mm；

2.4配置马达台快捷控制器或轨迹球,多功能旋钮操作控制面板；

2.5样品座：配有单样品座，九孔样品座，多目的样品座；

2.6预留能谱仪等常用附件接口和软件通讯接口；

2.7最大可载样品重量500g；

2.8样品触碰极靴告警；

3.探测器

3.1样品室二次电子探测器；

3.2安装在物镜上方正光轴上的镜筒内二次电子探测器；

3.3样品室内独立环形背散射电子探测器；

3.4样品室内红外CCD相机观察系统，与SEM软件集成一体，SEM拍摄时可以同时CCD监控样品台情况；

4.真空系统

4.1磁悬浮涡轮分子泵，离子泵；

4.2样品室真空度：系统真空在持续抽12小时以上优于5 x 10-6 mbar（5 x 10-4 Pa）；

5.数字图像记录系统

*5.1 单张图片最大图像存储分辨率至少达32k×24k像素；

5.2 图像显示：1240×768像素，24”LCD显示器；

5.3 图像记录：TIFF, BMP或JPEG；

6.控制和数据处理系统

6.1 基于网络架构的数据传输系统；

6.2 计算机系统 Intel Xeon, Quad core processor以上CPU；DDRII 8G以上内存；SATA-II 250以上硬盘；独立显卡；DVD刻录机；

6.3 Windows 操作系统；

7.能谱仪

7.1分析型硅漂移电制冷探测器。晶体有效面积不小于30mm2，超薄窗设计, 无需液氮冷却；

7.2能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围不小于: B5～Cf98；

8.配有电子束感生电流检测系统（含毫安表）；

9.配有喷金仪1台，用于不导电样品制备；

10. 配有主动式减震台 1台，满足场发射扫描电镜系统使用；

11.配件耗材：备用场发射灯丝及光阑不少于1套，导电胶不少于2卷，样品托不少于50个，镊子不少于1把；

12. 质保期：不少于1年。

*13.如为进口产品，须在投标文件中提供原厂授权书。

1

台

2

高分辨率显微镜

高分辨率显微镜1套中包含：激光共聚焦显微镜1台、金相显微镜2台。

（一）激光共聚焦显微镜技术参数

1.光学显微镜部分

*1.1正立式反射全自动光学显微镜。

1.2 国际最先进标准无限远轴向及径向双重色差校正及反差增强（ICCS）的光学系统。提供最高反差、最高衬度、最高分辨率的最锐利图象。光学部件镀膜具有防霉功能，使用过程中防止长霉。

1.3配有TFT触摸式液晶操作屏，可显示显微镜工作状态和操纵显微镜，如更换物镜、更换观察模块等；获取当前物镜数据，反射光/透射光状态，光源数据等信息。

1.4 配有1nm精度Focus Linear Sensor闭环装置，确保步进的精确性，并且显微镜Z方向步进精度不小于10nm。

1.5电动扫描台：行程130 mm x 85 mm ，最大移动速度不小于50 mm/s，分辨率不低于0.1um；

1.6 电动6位物镜转盘，可同时安装6个物镜；

*1.7 电动6位观察方式模块转盘，满足多种观察方式应用；

1.8 显微镜观察方式：反射光明场，可升级为高级暗场、偏光、圆微分干涉、荧光；

1.9 物镜：选用最先进的反差增强系列，增加短波长透光率，提高图像的分辨率。

1.9.1 5X反射光明暗场多功能物镜，数值孔径不低于0.13，工作距离不低于11.8mm；

1.9.2 10X反射光明暗场多功能物镜，数值孔径不低于0.25，工作距离不低于11.0mm；

1.9.3 20X反射光明暗场多功能物镜，数值孔径不低于0.4，工作距离不低于3.2 mm；；

1.9.4 20X反射光共聚焦专用物镜，数值孔径不低于0.7，工作距离不低于1.3mm；

1.9.5 50X反射光共聚焦专用物镜，数值孔径不低于0.95，工作距离不低于0.22mm；

1.9.6 100X反射光明暗场多功能物镜，数值孔径不低于0.9，工作距离不低于0.28 mm；

1.10目镜：采用宽视野平场10x目镜，每个目镜的屈光度均可独立调节，标配目镜罩，视野不低于23。

1.11光源：长寿命LED照明，寿命不低于50000h；

1.12 相机及软件：配有原装进口彩色相机，相机像素不低于600W（非插值），预览窗口帧率：36fps，曝光时间≥100μs-4s，相机须配有专门的图像采集、分析、测量软件。显微镜图像采集与图像分析处理软件为同一套软件，非第三方或国产软件，并提供免费升级.

2.激光共聚焦部分

2.1激光器系统

*2.1.1激光器组成：配有半导体激光器,405 nm激光器，功率不低于5mw。

2.1.2激光器强度调节：无需人工调节，完全实现了软件调节和控制，可根据实际情况进行调节0.5%到100%的调节，稳定性高。并具有实验中未使用自动进入关闭状态（Switch off）功能，延长激光的使用寿命。

2.2扫描检测系统

2.2.1成像通道：需配有1个高信噪比MA-PMT（多碱基光电倍增管）探测器。

2.2.2扫描器组成：X、Y轴分别采用高灵敏性、高精度独立的检流计（Galvo）双扫描振镜，采用超快线扫及帧飞回技术。扫描分辨率下限32x1。

2.2.3最高不低于6144x6144，可连续调节。最大扫描分辨率不小于3700万像素。

*2.2.4具有扫描变倍功能，范围0.5x-40x,调节步进精度至少为0.1x。

2.2.5具有扫描旋转功能，图像可360度扫描自由旋转，且调节精度至少为0.1度。同时可以变倍以及在XY方向移动扫描区域。旋转、变倍、移动中心均可以实时（扫描过程中）进行。

2.2.6具有智能共聚焦针孔：针孔调节可完全通过计算机控制，调节范围1μm-460μm连续可调，可以根据光切层的不同厚度实现针孔直径大小连续调节；针孔可以通过软件实现自动对中校准，无需人工手动调节。

2.3软件分析系统

2.3.1图像扫描模式：在三维扫描时，可通过计算机控制对样品进行三维预扫描

2.3.2图像处理：可进行多种运算，加减乘除，比率，转换，滤波（低通，平均，高通，也可以用户自定义）。

2.3.3图像显示：平面视图（XY,XZ,YZ单独显示），剖面视图（可任选空间角度截取剖面），可调整明亮度和对比度，可对输出文档进行编辑。

2.3.4图像分析：可测量任意直线与曲线的长度，角度，面积，强度等参数。

2.3.5数据存档：件浏览器可管理图像及其相关采集参数，多重打印功能可创建图像与数据组合视图；可保存超过20种文件格式(TIF, BMP, JPG, PSD, PCX, GIF, AVI,Quicktime ...) ，兼容各类普通图像处理程序。

2.3.6材料样品专用模块：

三维表面形貌软件模块：可获得三维表面形貌图及高度图（地形图），并增加多种测量功能（粗糙度、表面积、体积）；

3.防震台：尺寸不小于900*750mm，满足激光共聚焦显微镜的使用要求。

4.质保期：至少一年

（二）金相显微镜技术参数

1.光学系统：IC2S无限远色差反差双重校正光学系统，45mm国际标准物镜齐焦距离；

2.观察方式切换：采用不少于4位功能模块转盘；可实现观察方法：明场，暗场，C-DIC；

3.光强系统：切换物镜放大倍数及观察功能时可自动调整至预设光强；

*4.照明：使用长寿命LED光源，寿命不低于5万小时；

5.目镜：10倍带刻度超大视野平场目镜，每个目镜均可单独进行屈光度调整，视场不小于20mm；

6.物镜转盘：不少于4孔多功能物镜转换器，软件可以读出当前所使用的观察模块；

7.载物台：配有晶圆载物台，可放置3、4、6英寸样品；

8.物镜：（1）5x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.13；（2）10x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.25；（3）20x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.4；（4）50x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.75；（5）100x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.85；

9.软件含交互式测量功能、含距离、角度、直径、面积、周长等测量工具、含原厂与显微镜同一品牌Z轴活图同步超景深合成软件，带拼图功能；

10.成像系统：配有原装进口制冷彩色相机，物理像素≥500万。

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套

序号

核心产品内容

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扫描电子显微镜（场发射）