预算金额

 250万元

一、 项目概况：

多靶磁控溅射真空沉积仪可用于Au、Cr、Ag、Al、Cu、ZnO、ITO等薄膜沉积，同时可实现不同金属共溅和多层金属薄膜交叉沉积，是半导体工艺流程中极其重要的设备之一。

向国家重大需求和地方经济发展，针对光电检测、无损检测成像需求，购置宽视场高分辨成像器件、平板探测器，进一步强化特色，加强可见光及X射线信息的探测与处理、高分率成像及CT图像重建及技术应用等方面的研究，形成具有国际领先水平的光电信息检测与应用、X射线探测处理与应用的能力，为载人航天、装备诊断等国家重大工程，以及山西产业经济转型发展提供关键核心支撑技术。

一、合同履行期限（交货期）：

合同签订后120日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。

二、交货地点：太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。

三、付款条件：

合同签订后，预付合同金额的80%，设备交付到现场后预付合同金额的18%，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。

四、履约保证金：

1、本项目要求成交供应商提交履约保证金。

2、成交供应商收到成交通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、成交供应商合同主要义务履行完毕，成交供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10个工作日内采购人无息退还。

五、运输要求：

保证货物及时无误运输至交货地点，达指定地点经采购人确认无误后，运输结束。

六、保险要求：

报价中包含所有货物的保险费用，不再另外收费。

七、商品包装和快递包装要求：

1、直接使用商品包装作为快递包装的商品，其包装满足《商品包装政府采购需求标准（试行）》即可。

2、快递包装产品质量和封装方式应符合《快递包装政府采购需求标准（试行）》等相关国家或行业标准技术指标要求。

八、履约验收:

验收分为开箱验收和运行验收两部分。

（2）货物安装调试和培训完毕后，由采购单位按照学校规定组织对设备的运行情况进行验收。

九、售后服务：

1、提供本项目售后服务总负责人的姓名、职务、详细的地址和联系方式。

2、具备稳定的技术支持团队，具备开展项目实施和技术支持，现场技术支援的能力，提供技术团队人员配置情况的清单。

3、提供售后保障措施。（故障应急响应速度、售后服务体系、售后服务响应机制。）

（1）质保期（验收合格之日起计算） 2 年内免费保修（人为因素除外），即质保期内对所有货物进行免费无偿维护服务，如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。

（2）服务响应时间,提供全天24小时 技术支持，在接到客户要求维护的通知后，由专业人员 4 小时内响应， 8 小时内提出具体解决方案， 48小时内专业技术人员上门现场解决，使设备尽快恢复正常。

（3）在设备使用中不管质保期内还是质保期外，及时更新操作系统和安全补丁的安装或升级。

（4）设备超过质保期后，如出现故障，需要更换零部件的只收取成本。

4、培训要求：（1）提供不少于 5 个工作日的系统培训，包括操作使用、注意事项和相关理论知识，结构介绍、日常维护等，要求培训形式灵活，达到用户基本掌握设备和软件的使用方法为标准。

十、实质性要求

（一）“节能产品政府采购品目清单”政府强制采购的产品: 无

 （本文件未列出政府强制采购产品的，可投报“节能产品政府采购品目清单、环境标志产品政府采购品目清单”中非政府强制采购产品或其范围以外的产品。）

（二） 正版软件承诺：承诺所投报的计算机预装正版操作系统，硬件产品内的预装软件为正版软件。

（三）商品包装和快递包装承诺：承诺所供商品包装符合《商品包装政府采购需求标准（试行）》，快递包装符合《快递包装政府采购需求标准（试行）》。

（四）其他强制性要求或标准：

（一般不得要求供应商提供样品，仅凭书面方式不能准确描述采购需求或者需要对样品进行主观判断以确认是否满足采购需求等特殊情况除外。要求供应商提供样品的，应当明确规定样品制作的标准和要求、是否需要随样品提交相关检测报告、样品的评审方法以及评审标准。）

十一、非实质性要求

（一）提供自身已完成的同类项目合同案例，提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页、供货明细单及项目验收证明材料（或结算凭证）的扫描件。（可明确同类项目至少包含的内容，但不可有地域性和区域性限制。）

（二）政府优先采购的产品：投报“节能产品政府采购品目清单、环境标志产品政府采购品目清单”中非政府强制采购产品的将给予适当加分。

序号

货物名称

单位（台、套、个等）

数量

技术参数要求或性能描述

是否

进口

1

多靶磁控溅射真空沉积系统

套

1

一、系统功能要求

该系统由磁控溅射沉积设备、薄膜应力测试设备、微纳级薄膜参数测试设备三部分构成，可用于Au、Cr、Ag、Al、Cu、ZnO、ITO等薄膜沉积，要求如下：

1、直流电源功率：0-600W；

2、均匀性和重复性：在6 inch衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%；

3、样品尺寸：6 inch，向下兼容；

4、基底温度：0℃-800℃可调；

5、真空室泄漏率：5E-5Torr.L/S；

6、极限真空：5E-7Torr；

7、靶材种类：Au、Cr、Ag、Al、Cu、ZnO、ITO等。

二、详细技术配置要求

（一）磁控溅射系沉积设备

1、设备功能要求

该设备由真空室、射频及直流电源系统、加热系统、冷却系统、送取片机构（load-lock）及自动控制系统等组成，可用于共溅射和多层膜薄膜沉积功能。

1.1真空室

（1）至少一个观察窗以无障碍观察所有溅射源；

（2）工件盘数量≥2个；

（3）至少有2个进气路和2个质量流量计分别控制；

（4）作业结束可采用液氮放气。

★1.2 自动进样室（Load-lock）

（1）可实现全自动和半自动传送\传出样品；

（2）具有等离子体清洗功能。

1.3真空系统

（1）分子泵：数量≥2，抽速≥1200升/秒,；

（2）直联旋片式真空泵：数量≥3，抽速≥14升/秒；

（3）真空测量：数显复合真空计数量≥1。

1.4功率源

（1）直流电源：数量≥2台，功率≥1000W

★1.5溅射源

（1）溅射靶枪及数量：

尺寸（靶材直径*厚度）￠76.2mm*6.35㎜，数量≥8个；

（2）溅镀方式：由上往下溅射；

（3）包含一个强磁性靶枪，可用于溅射导磁性材料；

（4）每个靶枪各配有一个独立式气动遮板；

（5）具备共溅射和多层膜薄膜沉积功能。

1.6加热工件台

（1）工件台带加热功能，有独立的温度检测系统；

（2）基片可旋转，转速0至15转/分钟可调；

（3）加热温度≥400℃。

1.7计算机控制系统

（1）使用计算机和PLC控制，要求带最新的Windows正版软件，制程实现全自动化，并具备远程控制扩展功能，以便实验室的统一管理；

（2）软件能以系统图形式显示系统流量，温度，阀门状态，具有编辑，调用，存储及查询等功能；

（3）软件具有异常报警功能，并满足手动、自动、维护多种控制模式；

（4）软件满足手动、自动、维护多种控制模式，可执行腔体漏率测试，显示并记录测试结果；

（5）软件必须是合法、正版的原厂家软件且是win7或win10版本；提供终身免费的维护和及时的免费升级服务。

2、技术参数

2.1极限真空

（1）溅射室真空度极限≤6.6×10^-5Pa；

（2）进样室真空度极限≤6.6×10^-1Pa。

2.2系统漏率

停泵关机12小时后，溅射室真空度可达≤1Pa。

2.3系统抽速

  溅射室从送完样片后开始抽气，大气体抽至1×10^-4Pa时间：≤20分钟。

★2.4溅射不均匀性:

6英寸范围内≤5%。

2.5样品尺寸:

尺寸≥6英寸，且可放置小片多片。

2.6溅射速率：

在保证溅射不均匀性合格条件下，铝溅射速率：≥30nm/s，镍溅射速率：≥3nm/s。

（二）薄膜应力测试设备：

1.设备功能要求

该设备基于曲率法Stoney原理，采用双波长激光对样品进行扫描测量，用于自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；

2.技术指标

（1）薄膜应力测试范围：1 MPa～10 GPa；

（2）曲率半径测试范围：2～20000m；

（3）曲率半径重复精度（室温）：≤±1 % （1σ；曲率半径≤20m），≤±2.5 %（1σ；曲率半径≤200m）；

★（4）样品最大尺寸：≥8英寸，向下兼容6、4、2英寸；

（5）扫描最小步长：≤0.1mm；

（6）样品台：电动360°旋转样品台（室温）；Y方向自动移动样品台（变温）；

（7）工作温度范围：真空腔体加热（室温～500℃）；

★（8）标准样片：光路系统校验片

①6英寸标准曲率镜数量：数量≥1块（3m曲率半径）

②4英寸标准平面镜一块：数量≥1块

★（9）操作机台及软件：可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；视窗界面/适用于Windows 10 系统。

（三）微纳级薄膜参数测试设备

1. 系统功能要求

该设备可实现一次测量全穆勒矩阵16个偏振参数元素，快速无损，精准测量各向同性/各向异性微纳级薄膜的厚度、折射率、消光系数及介电常数等。

2.技术参数

★（1）偏振测量参数：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，16组Muller Matrix

（2）光谱范围：210-1650nm

（3）调制技术：双旋补偿器PCrSCrA调制技术

★（4）偏振参数：Delta值域：-90-270°，更灵敏描述相位态连续变化

（5）测量时间：＜15秒

★（6）微光斑尺寸：200μm（短轴），配置双安全自动识别传感器

（7）测量角度：45-90°，自动变角

（8）找焦功能：行程0-20mm，自动找焦

（9）膜厚重复精度：≦0.005nm（100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

（10）折射率重复精度：≦0.0002（n @632.8nm，100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

（11）退偏精度：优于±0.5%（测量裸硅，全波段90%满足）

（12）退偏修正：修正厚度不均匀性（Non-uniformity）、带宽（Bandwidth）及数值孔径（Angular Spread）导致的退偏效应（提供专利证书）

★（13）Mapping功能：采用x/y型Mapping运动台，支持2/4/6/8寸样件多点定位自动扫描测量，一键生成二维/三维膜厚分布图

★（14）数据建模：不低于3种（MSE/GOF/nGOF）数据拟合度评价方式；软件同界面数据文件夹结构化批量管理，一次调用海量数据数秒内批量处理并导出分析报告

（15）数据批处理：海量数据一次全域深度遍历调用并自动匹配批量分析，数秒内处理完毕并导出结果报告

（16）分析软件：多达数百种的光学材料常数数据库，用户自定义光学材料库；具备折射率梯度分布Grade建模，光学各向异性建模仿真与分析功能

（17）操作机台：CPU:i7处理器，RAM: ≥8G，ROM: ≥1024G，显示器: ≥20寸，windows系统

★（18）标准样片数量≥3片，调试工具数量≥1套，调试文件≥1份。

否

一、合同履行期限（交货期）：

合同签订后30日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。

二、交货地点：

太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。

三、付款条件：

合同签订后，预付合同金额的80%，设备交付到现场后预付合同金额的10%，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的10%。

四、履约保证金：

1、本项目要求成交供应商提交履约保证金。

2、成交供应商收到成交通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、成交供应商合同主要义务履行完毕，成交供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10个工作日内采购人无息退还。

五、运输要求：

保证货物及时无误运输至交货地点，达指定地点经采购人确认无误后，运输结束。

六、保险要求：

报价中包含所有货物的保险费用，不再另外收费。

七、商品包装和快递包装要求：

1、直接使用商品包装作为快递包装的商品，其包装满足《商品包装政府采购需求标准（试行）》即可。

2、快递包装产品质量和封装方式应符合《快递包装政府采购需求标准（试行）》等相关国家或行业标准技术指标要求。

八、履约验收:

验收分为开箱验收和运行验收两部分。

（2）货物安装调试和培训完毕后，由采购单位按照学校规定组织对设备的运行情况进行验收。

6、履约验收其他事项： 无。

九、售后服务：

1、提供本项目售后服务总负责人的姓名、职务、详细的地址和联系方式。

2、具备稳定的技术支持团队，具备开展项目实施和技术支持，现场技术支援的能力，提供技术团队人员配置情况的清单。

3、提供售后保障措施。（故障应急响应速度、售后服务体系、售后服务响应机制。）

（1）质保期（验收合格之日起计算） 2 年内免费保修（人为因素除外），即质保期内对所有货物进行免费无偿维护服务，如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。

（2）服务响应时间,提供全天24小时 技术支持，在接到客户要求维护的通知后，由专业人员 4 小时内响应， 8 小时内提出具体解决方案， 48小时内专业技术人员上门现场解决，使设备尽快恢复正常。

（3）在设备使用中不管质保期内还是质保期外，及时更新操作系统和安全补丁的安装或升级。

（4）设备超过质保期后，如出现故障，需要更换零部件的只收取成本。

4、培训要求：（1）提供不少于 5 个工作日的系统培训，包括操作使用、注意事项和相关理论知识，结构介绍、日常维护等，要求培训形式灵活，达到用户基本掌握设备和软件的使用方法为标准。

十、实质性要求

（一）“节能产品政府采购品目清单”政府强制采购的产品: 无

 （本文件未列出政府强制采购产品的，可投报“节能产品政府采购品目清单、环境标志产品政府采购品目清单”中非政府强制采购产品或其范围以外的产品。）

（三） 正版软件承诺：承诺所投报的计算机预装正版操作系统，硬件产品内的预装软件为正版软件。

（三）商品包装和快递包装承诺：承诺所供商品包装符合《商品包装政府采购需求标准（试行）》，快递包装符合《快递包装政府采购需求标准（试行）》。

（四）其他强制性要求或标准：

（一般不得要求供应商提供样品，仅凭书面方式不能准确描述采购需求或者需要对样品进行主观判断以确认是否满足采购需求等特殊情况除外。要求供应商提供样品的，应当明确规定样品制作的标准和要求、是否需要随样品提交相关检测报告、样品的评审方法以及评审标准。）

十一、非实质性要求

（一）提供自身已完成的同类项目合同案例，提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页、供货明细单及项目验收证明材料（或结算凭证）的扫描件。（可明确同类项目至少包含的内容，但不可有地域性和区域性限制。）

（二）政府优先采购的产品：投报“节能产品政府采购品目清单、环境标志产品政府采购品目清单”中非政府强制采购产品的将给予适当加分。

序号

货物名称

单位（台、套、个等）

数量

技术参数要求或性能描述

是否进口

1

宽视场高分辨成像器件

台

1

1.高分辨率显微系统，物方最高分辨率可达0.4um；

2.集成同轴激光追焦系统,可实现对高速运动成像实时对焦；

3.物镜放大倍数≥5倍（可更换）；

4.同轴科勒照明，可外接点光源；

5.重复定位精度±0.5um、行程±25mm；

*6.成像面积：≥φ30mm；（需提供产品彩页或证明材料）

*7.成像分辨率：≤1μm；（需提供产品彩页或证明材料）

8.相机：

（1）传感器类型：CMOS；

（2）快门类型：全局；

（3）分辨率：≥5120 x 4096；

（4）帧率：≥222；

（5）像素：≥21MP；

（6）接口：CXP-12；

（7）颜色：黑白；

（8）像元：≥4.5 x 4.5um；

（9）靶面：≥23.04 x18.43 mm；

（10）IP防护等级：IP40；

（11）信噪比：≥43dB；

9.运动平台：

（1）XY轴移动模组：V型交叉导轨、丝杆传动，步进电机；

（2）XY轴运动行程：≥100*100mm(x*Y)；

（3）XY轴运动控制：单片机按键点动控制，电位器无级调速(启动，走到正限位，停止，再启动，走到负限位，停止)；

（4）Z轴电机：显示成像系统；

（5）气动大理石平台/立柱：无染色 00级平面度；

10.高速相机：

*（1）最大分辨率：≥1280x1024；（需提供产品彩页或证明材料）

*（2）满幅拍摄速度：≥13600fps；（需提供产品彩页或证明材料）

*（3）最大拍摄速度：≥1000000fps；（需提供产品彩页或证明材料）

（4）像元尺寸：≥14.6um；

（5）标准内存：≥160G；

（6）动态范围：≥60dB；

（7）模拟增益：x2、x4、x8；

（8）窗口采集：支持；

（9）录制模式：开始、结束、中心、随机、手动；

（10）触发模式：手动、IO、图像；

（11）电源：双电源、DC24V；

（12）功率：≥50W。

11. 自动对焦软件

（1）支持物镜切换配置

（2）软件限位

（3）更改激光模式对焦

（4）激光变化实时追踪

（5）电机平滑模式

（6）上下限位报错提醒

否

2

平板探测器

台

1

*1.实际有效成像面积（mm）：≥305×305；

*2.像素矩阵：≥3070×3070；

*3.像素尺寸：≤102um；

4.A/D转换：16位；

*5.帧率：≥24fps（1×1）；48fps（2×2）；

6.重量：≤22KG；

*7.射线防护等级：≥450kV；

8.采集卡：PCIe光纤采集卡。

否

合计